Wafer邊緣破損檢測

• 檢測Wafer邊緣是否破損
• 利用邊緣有無突起辨識瑕疵
• 高分辨遠心鏡頭使輪廓更加明顯
• 特殊光場設計凸顯表面輪廓
• 軟體優化使分辨更快更準