圖案名稱 | 材質 | 最小線寬(μm) | 最大尺寸(mm) | 厚度(mm) | 公差(μm) | 工藝 | 定制 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Halcon | 玻璃(G) | 1 | 700 x 800 | 0.5/0.7/1/1.6/2.3/3/4.8 | 1 | 光刻 | 可定制 |
陶瓷(C) | 50 | 190 x 139 | 1/0.635 | 1 | 光刻 | 可定制 |
型號 Model | 外形大小 W x H (mm) | 圖案大小 IW x IH (mm) | 格子陣列 Square Array R x C | 小方格尺寸 Gridlength (mm) | 圖案精度 Precision (um) |
---|---|---|---|---|---|
LTO-15-0.5-G/C | 15x15 | 6x4.5 | 9x12 | 0.50 | ±1 |
LTO-15-0.75-G/C | 15x15 | 9x6.75 | 9x12 | 0.75 | ±1 |
LTO-15-1.0-G/C | 15x15 | 12x9 | 9x12 | 1.00 | ±1 |
LTO-25-1.5-G/C | 25x22 | 18x13.5 | 9x12 | 1.50 | ±1 |
LTO-030-2.0-G/C | 30x30 | 26x24 | 13x12 | 2.00 | ±1 |
LTO-045-3.0-G/C | 45x45 | 39x36 | 13x12 | 3.00 | ±1 |
LTO-060-4.0-G/C | 60x60 | 52x48 | 13x12 | 4.00 | ±1 |
LTO-76-5.0-G/C | 76x70 | 65x60 | 13x12 | 5.00 | ±1 |
LTO-88-6.0-G/C | 88x88 | 78x72 | 13x12 | 6.00 | ±1 |
LTO-111-8.0-G/C | 111x106 | 104x96 | 13x12 | 8.00 | ±1 |